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論文・著書情報


タイトル
和文:ビルトインセンサによる静電マイクロアクチュエータの変位制御 
英文: 
著者
和文: 林　健彦, 福重孝志, 秦　誠一, 下河辺　明.  
英文: 林　健彦, 福重孝志, 秦　誠一, Akira Shimokohbe.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 925-926
出版年月 2006年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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