Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Micromachined Filter with Double-Cavity Structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Micromachined Filter with Double-Cavity Structure

著者

和文:	Wiganes Janto, 松谷晃宏, 小山二三夫.
英文:	Wiganes Janto, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 10A pp. 7732-7736

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
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DOI