Double-Cavity Micromachined Filter With Electrical Actuation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Double-Cavity Micromachined Filter With Electrical Actuation

著者

和文:	Wiganes Janto, 松谷晃宏, 小山二三夫.
英文:	Wiganes Janto, Akihiko Matsutani, Fumio Koyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 11th Opticalelectoronics and Communications Conference, OECC 2006

巻, 号, ページ

5B1-3-1

出版年月

2006年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 11th Opticalelectoronics and Communications Conference, OECC 2006

開催地

和文:
英文:	Kaohsiung（Taiwan）