Low temperature deposition of hydrogenated nanocrystalline cubic silicon carbide thin films by HWCVD and VHF-PECVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low temperature deposition of hydrogenated nanocrystalline cubic silicon carbide thin films by HWCVD and VHF-PECVD

著者

和文:	Shinsuke Miyajima, Makoto Sawamura, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Makoto Sawamura, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 IEEE 4th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion

開催地

和文:
英文:	Hawaii

DOI