Effect of thermal annealing on the properties of a-SiCN:H films by hot wire chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of thermal annealing on the properties of a-SiCN:H films by hot wire chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane

著者

和文:	A. Limmanee, M. Otsubo, T. Sugiura, T. Sato, S. Miyajima, A. Yamada, M. Konagai.
英文:	A. Limmanee, M. Otsubo, T. Sugiura, T. Sato, S. Miyajima, A. Yamada, M. Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	4th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process

開催地

和文:
英文:	Takayama