Growth of Strain-relaxed Si1-yCy Films with Step Carbon Composition By Gas Source MBE

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of Strain-relaxed Si1-yCy Films with Step Carbon Composition By Gas Source MBE

著者

和文:	Hanae Ishihara, Masahiko Murano, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Hanae Ishihara, Masahiko Murano, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2006)

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2006)

開催地

和文:
英文:	New Jersey, USA