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論文・著書情報


タイトル
和文:ホロー電極を用いた微細ガス流マイクロプラズマ制御 
英文: 
著者
和文: 山内隆彦, 横山琢馬, 井深真治, 安岡康一, 石井彰三.  
英文: 山内隆彦, 横山琢馬, 井深真治, 安岡康一, 石井彰三.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会研究会資料 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. PST-06-15        pp. 77-80
出版年月 2006年1月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:電気学会プラズマ研究会 
英文: 
開催地
和文:茨城 
英文: 

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