Atmospheric Microplasma with Argon Miniature Gas Flow

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atmospheric Microplasma with Argon Miniature Gas Flow

著者

和文:	Takuma Yokoyama, Takahiko Yamauchi, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.
英文:	Takuma Yokoyama, Takahiko Yamauchi, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

Vol. Ap061201 pp. 337-338

出版年月

2006年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:
英文:	仙台