Study of xenon capillary Z pinch extreme-ultraviolet light source for lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study of xenon capillary Z pinch extreme-ultraviolet light source for lithography

著者

和文:	Keita Kitade, Inho Song, Mitsuo Okamoto, Yasushi Hayashi, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Keita Kitade, Inho Song, Mitsuo Okamoto, Yasushi Hayashi, Majid Masnavi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	NIFS-PROC

巻, 号, ページ

Vol. 62 pp. 16-23

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: