PULSE OPERATED MULTI-GAS INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	PULSE OPERATED MULTI-GAS INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

著者

和文:	A. Okino, H. Miyahara, K. Takimoto, T. Kageyasu, M. Watanabe E. Hotta.
英文:	A. Okino, H. Miyahara, K. Takimoto, T. Kageyasu, M. Watanabe E. Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

pp. 153

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文:	USA