CHARACTERISTICS OF GAS JET Z-PINCH PLASAM SOURCE FOR EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	CHARACTERISTICS OF GAS JET Z-PINCH PLASAM SOURCE FOR EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY

著者

和文:	M. Watanabe, I. Song, T. Sakamoto, Y. Kobayashi, N. Iizuka, N. Kishi, A. Okino, S.R. Mohanty, E. Hotta.
英文:	M. Watanabe, I. Song, T. Sakamoto, Y. Kobayashi, N. Iizuka, N. Kishi, A. Okino, S.R. Mohanty, E. Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

pp. 313

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文:	USA