Comparative study on the performance of a xenon capillary Z-pinch EUV lithography light source using a pinhole camera

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Comparative study on the performance of a xenon capillary Z-pinch EUV lithography light source using a pinhole camera

著者

和文:	Inho Song, Kazuhiko Iwata, Yusuke Homma, Smruti R Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Inho Song, Kazuhiko Iwata, Yusuke Homma, Smruti R Mohanty, Masato Watanabe, Toru Kawamura, Akitoshi Okino, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Plasma Sources Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 15 pp. 322-327

出版年月

2006年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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