微細ガス流マイクロプラズマの直流電圧印加特性 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細ガス流マイクロプラズマの直流電圧印加特性
英文:

著者

和文:	浦壁隆浩, 薬師寺肇, 横山拓馬, 井深真治, 石井彰三.
英文:	浦壁隆浩, 薬師寺肇, 横山拓馬, 井深真治, 石井彰三.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 126-A No. 8 pp. 795-800

出版年月

2006年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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