Lifetime improvement of nitrided carbon stripper foils by ion-beam sputtering with a binary gas mixture

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Lifetime improvement of nitrided carbon stripper foils by ion-beam sputtering with a binary gas mixture

著者

和文:	Sugai I, Takeda Y, Oyaizu M, Kawakami H, Hattori Y, Kawasaki K, Yoshida K, Itoh A.
英文:	Sugai I, Takeda Y, Oyaizu M, Kawakami H, Hattori Y, Kawasaki K, Yoshida K, Itoh A.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nucl Instrum Meth Phys Res A

巻, 号, ページ

Vol. 521 pp. 187-191

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI