Nanometer Positioning of a Linear Motor-Driven Ultraprecision Aerostatic Table System with Electrorheological Fluid Dampers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanometer Positioning of a Linear Motor-Driven Ultraprecision Aerostatic Table System with Electrorheological Fluid Dampers

著者

和文:	新野秀憲, Hashizume, H..
英文:	Shinno, H., Hashizume, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Annals of the CIRP(Annals of the International Institution for Production Engineering Research)

巻, 号, ページ

Vol. 48 No. 1 pp. 289-292

出版年月

1999年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: