Japan MEXT Leading Project for Laser-Produced-Plasma EUV Light Source Development

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Japan MEXT Leading Project for Laser-Produced-Plasma EUV Light Source Development

著者

和文:	K.Nishihara, K.Fujima, H.Furukawa, T.Kagawa, T.Kato, T.Kawamura, F.Koike, R.More, M.Murakami, T.Nishikawa, A.Sasaki, A.Sunahara, H.Tanuma, V.Zhakhovskii, H.Nishimura, M.Nakai, K.Shigemori, Y.Shimada, S.Uchida, S.Fujioka, K.Hashimoto, T.Hibino, R.Matsui, T.Okuno, F.
英文:	K.Nishihara, K.Fujima, H.Furukawa, T.Kagawa, T.Kato, T.Kawamura, F.Koike, R.More, M.Murakami, T.Nishikawa, A.Sasaki, A.Sunahara, H.Tanuma, V.Zhakhovskii, H.Nishimura, M.Nakai, K.Shigemori, Y.Shimada, S.Uchida, S.Fujioka, K.Hashimoto, T.Hibino, R.Matsui, T.Okuno, F.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2nd International Extreme UltraViolet Symposium, Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.

巻, 号, ページ

Vol. http://www.sematech.org/

出版年月

2003年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2nd International Extreme UltraViolet Symposium, Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.

開催地

和文:
英文:	Antwerp, Belgium, September 30-October 2, 2003.