Development of Capillary Z-pinch Discharge EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Capillary Z-pinch Discharge EUV Light Source

著者

和文:	M. Watanabe, T. Kasao, M. Okamoto, I.H. Song, A. Okino, K. Horioka, E. Hotta.
英文:	M. Watanabe, T. Kasao, M. Okamoto, I.H. Song, A. Okino, K. Horioka, E. Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of SPIE

巻, 号, ページ

Vol. 5063 pp. 278-281

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI