The Role of Interference and Correlations in 13.5 nm Radiations of Sn and Xe Atomic Ions --- For Precise and Accurate Determination of Spectral Lines ---

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Role of Interference and Correlations in 13.5 nm Radiations of Sn and Xe Atomic Ions --- For Precise and Accurate Determination of Spectral Lines ---

著者

和文:	F.Koike, S.Fritzsche, K.Nishihara, A.Sasaki, T.Kagawa, T.Nishikawa, K.Fujima, T.Kawamura, H.Furukawa.
英文:	F.Koike, S.Fritzsche, K.Nishihara, A.Sasaki, T.Kagawa, T.Nishikawa, K.Fujima, T.Kawamura, H.Furukawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd International Extreme UltraViolet Lithography Symposium, Miyazaki, Japan, 1-4 November, 2004.

巻, 号, ページ

Vol. http://www.sematech.org/

出版年月

2004年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd International Extreme UltraViolet Lithography Symposium, Miyazaki, Japan, 1-4 November, 2004.

開催地

和文:
英文:	Miyazaki, Japan, 1-4 November, 2004.