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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Aluminum-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films deposited by hot wire CVD 
著者
和文: 宮島 晋介, 山田明, 小長井誠.  
英文: Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 501    No. 1-2    pp. 186-189
出版年月 2006年4月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.07.164

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