Design and development of an ultra-compact drum-shaped chamber for combinatorial pulsed laser deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and development of an ultra-compact drum-shaped chamber for combinatorial pulsed laser deposition

著者

和文:	M. Katayama, K. Itaka, Y. Matsumoto, H. Koinuma.
英文:	M. Katayama, K. Itaka, Y. Matsumoto, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Surf. Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 252 pp. 2461-2465

出版年月

2006年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI