MOCVD法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の低温結晶化に及ぼすプラズマの影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOCVD法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の低温結晶化に及ぼすプラズマの影響
英文:	Effect of the Plasma on Low-temperature Crystallization of Pb(Zr,Ti)O3 films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	文志原, 脇谷尚樹, 木口賢紀, 田中順三, 篠崎和夫.
英文:	文志原, 脇谷尚樹, 木口賢紀, 田中順三, 篠崎和夫.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	（社）日本セラミックス協会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2006

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第２６回エレクトロセラミックス研究討論会
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開催地

和文:	東京(東京工業大学)
英文: