レーザーアシストを用いたEUV光源の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザーアシストを用いたEUV光源の開発
英文:	Development of Discharge EUV Light Source Assisted by laser

著者

和文:	山田淳三郎, 岸望, 渡邊正人, 沖野晃俊, 河村徹, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, MASATO WATANABE, AKITOSHI OKINO, Tohru Kawamura, KAZUHIKO HORIOKA, EIKI HOTTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:	The Papers of Technical Meeting on Pulsed Power Technology

巻, 号, ページ

Vol. PPT-07-38～47 pp. 29-33

出版年月

2007年11月

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	パルスパワー研究会
英文:	Meeting on Pulsed Power Technology

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo