Properties of nanocrystalline SiC:Ge:H alloy deposited by hot-wire chemical vapor deposition using Organosilane and Organogermane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of nanocrystalline SiC:Ge:H alloy deposited by hot-wire chemical vapor deposition using Organosilane and Organogermane

著者

和文:	宮島晋介, 屋敷保聡, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Yasutoshi Yashiki, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 516 No. 5 pp. 670-673

出版年月

2008年1月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI