Effect of thermal annealing on the properties of a-SiCN:H films by hot wire chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of thermal annealing on the properties of a-SiCN:H films by hot wire chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane

著者

和文:	LIMMANEE AMORNRAT, Michio Otsubo, 杉浦勉, 佐藤剛彦, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Tsutomu Sugiura, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 516 No. 5 pp. 652-655

出版年月

2008年1月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI