“Low-temperature Deposition of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Thin Films by Photochemical Vapor Deposition Technique and Their Application to Thin Film Solar Cells”

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	“Low-temperature Deposition of Hydrogenated Microcrystalline Silicon Thin Films by Photochemical Vapor Deposition Technique and Their Application to Thin Film Solar Cells”

著者

和文:	檜座秀一, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shuichi Hiza, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 4A pp. 1427-1431(A03,A07)

出版年月

2007年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: