PREPARATION OF HYDROGENATED MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS BY HOT WIRE CVD UNDER HELIUM-DILUTED CONDITION

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	PREPARATION OF HYDROGENATED MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS BY HOT WIRE CVD UNDER HELIUM-DILUTED CONDITION

著者

和文:	富田充朗, 檜座秀一, 山田明, 小長井誠.
英文:	Mitsuaki Tomita, Shuichi Hiza, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	17th International Photovoltaic Science and Engineering Conference

巻, 号, ページ

pp. 1148-1149, 6P-P5-71

出版年月

2007年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th International Photovoltaic Science and Engineering Conference

開催地

和文:
英文:	Fukuoka, Japan