Influence of Plasma Power and Substrate Temperature on the Structure of Nanocrystalline Germanium Carbon Thin Films by VHF plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of Plasma Power and Substrate Temperature on the Structure of Nanocrystalline Germanium Carbon Thin Films by VHF plasma CVD

著者

和文:	屋敷保聡, Seiichi Kouketsu, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Yasutoshi Yashiki, Seiichi Kouketsu, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors

巻, 号, ページ

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 22)

開催地

和文:
英文:	Colorado, USA