Effects of Nitrogen Addition on the Properties of a-SiCN:H Films Using Hexamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Nitrogen Addition on the Properties of a-SiCN:H Films Using Hexamethyldisilazane

著者

和文:	LIMMANEE AMORNRAT, Michio Otsubo, 杉浦勉, 佐藤剛彦, 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Tsutomu Sugiura, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2007 Materials Research Society, Spring Meeting

巻, 号, ページ

出版年月

2007年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2007 Materials Research Society, Spring Meeting

開催地

和文:
英文:	San Francisco, California

DOI