Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effects of Nitrogen Addition on the Properties of a-SiCN:H Films Using Hexamethyldisilazane 
著者
和文: LIMMANEE AMORNRAT, Michio Otsubo, 杉浦 勉, 佐藤 剛彦, 宮島 晋介, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Tsutomu Sugiura, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:2007 Materials Research Society, Spring Meeting 
巻, 号, ページ        
出版年月 2007年4月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2007 Materials Research Society, Spring Meeting 
開催地
和文: 
英文:San Francisco, California 
DOI https://doi.org/10.1557/proc-0989-a04-02

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.