Characterization of Undoped, N- and P-Type Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Carbide Films Deposited by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Undoped, N- and P-Type Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Carbide Films Deposited by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures

著者

和文:	宮島晋介, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 4A pp. 1415-1426

出版年月

2007年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI