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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Preparation of Microcrystalline Germanium Carbon Thin Films by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Using Dimethylgermane 
著者
和文: 屋敷 保聡, 宮島 晋介, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Yasutoshi Yashiki, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 46    No. 5A    pp. 2865-2868
出版年月 2007年5月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.46.2865

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