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論文・著書情報


タイトル
和文:SiO2 cap層を用いたSi1-yCy膜の熱耐性の改善 
英文: 
著者
和文: 石原英恵, 井上駒樹, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Hanae Ishihara, Komaki Inoue, AKIRA YAMADA, MAKOTO KONAGAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第68回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 4p-E-16
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第68回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:北海道工業大学 
英文: 

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