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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Room-temperature direct bonding for integrated optical devices 
著者
和文: 武井, 阿部, 水本.  
英文: R.Takei, K.Abe, Tetsuya MIZUMOTO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:2007 IEEE LEOS Annual Meeting Technical Digest 
巻, 号, ページ         pp. TuD4
出版年月 2007年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文:Florida 
DOI https://doi.org/10.1109/LEOS.2007.4382337

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