“Low-Temperature Preparation of Metallic Ruthenium Films by MOCVD Using Bis(2,4-dimethylpentadienyl)ruthenium”

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	“Low-Temperature Preparation of Metallic Ruthenium Films by MOCVD Using Bis(2,4-dimethylpentadienyl)ruthenium”

著者

和文:	河野和久, Hiroaki Kosuge, Noriaki Oshima, 舟窪浩.
英文:	Kazuhisa Kawano, Hiroaki Kosuge, Noriaki Oshima, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Electrochem. Solid-State Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 10 No. 6 pp. D60-D62

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

アブストラクト

null