Fabrication of SOI MOSFET by “Separation by Bonding Silicon Islands (SBSI) Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of SOI MOSFET by “Separation by Bonding Silicon Islands (SBSI) Method

著者

和文:	大見俊一郎, K. Kanemoto, H. Oka, H. Hisamatsu, Y. Matsuzawa, Y. Kitano, T. Hara, M. Hoshina, S. Ohmi, J. Kato.
英文:	Shun-ichiro OHMI, K. Kanemoto, H. Oka, H. Hisamatsu, Y. Matsuzawa, Y. Kitano, T. Hara, M. Hoshina, S. Ohmi, J. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

Vol. 6 No. 8 pp. 309-313

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI