Etching Chracteristics of Low-k Polymer for Wide Modulation Bandwidth VCSELs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Etching Chracteristics of Low-k Polymer for Wide Modulation Bandwidth VCSELs

著者

和文:	松谷晃宏, 城岸直輝, 小山二三夫, 小林功郎.
英文:	Akihiro Matsutani, Naoki Jogan, Fumio Koyama, Kohroh Kobayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	12th Optoelectronics and Communications Conference/16th International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication, OECC/IOOC2007

巻, 号, ページ

11P-27 pp. 274-275

出版年月

2007年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Yokohama, Japan