Does lithium plasma in discharge-based extreme ultraviolet sources produce the necessary power for lithography?

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Does lithium plasma in discharge-based extreme ultraviolet sources produce the necessary power for lithography?

著者

和文:	MASNAVI MAJID, 中島充夫, 佐々木明, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	Majid Masnavi, Mitsuo Nakajima, Akira Sasaki, Eiki Hotta, Kazuhiko Horioka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. SO-P10

出版年月

2007年10月

出版者

和文:
英文:	SEMATECH

会議名称

和文:
英文:	2007 International EUVL Symposium

開催地

和文:
英文:	Sapporo, Japan