Performance of a Gas Jet Type Z-Pinch EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Performance of a Gas Jet Type Z-Pinch EUV Light Source

著者

和文:	宋仁皓, 小林靖典, 坂本敏郎, Smruti R. Mohanty, 渡邊正人, 沖野晃俊, 河村徹, 安岡康一, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Inho Song, Yasunori Kobayashi, Toshiro Sakamoto, Smruti R. Mohanty, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Tohru Kawamura, Koichi Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	31st International Conference on Micro- Nano-Engineering

巻, 号, ページ

pp. 3-b-05

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Miro- and Nano-Engineering

開催地

和文:
英文:	Vienna, Austria