Development of a gas jet  type Z-pinch EUV light source for lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a gas jet type Z-pinch EUV light source for lithography

著者

和文:	宋仁皓, K.Iwata, Y.Homma, S.R.Mohanty, 渡邊正人, 河村徹, 沖野晃俊, 安岡康一, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	INHO SONG, K.Iwata, Y.Homma, S.R.Mohanty, MASATO WATANABE, Tohru Kawamura, AKITOSHI OKINO, KOICHI YASUOKA, KAZUHIKO HORIOKA, EIKI HOTTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	International Pulsed Power Conference 2005

開催地

和文:
英文:	Moterey, CA, USA