同軸二重ノズル型電極を用いたEUV光源の出力特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	同軸二重ノズル型電極を用いたEUV光源の出力特性
英文:

著者

和文:	岸望, 飯塚直哉, 坂本敏郎, 宋仁皓, 小林靖典, S.R. Mohanty, 渡辺正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.
英文:	Nozomu Kishi, Naoya Iizuka, Toshiro Sakamoto, INHO SONG, Yasunori Kobayashi, S.R. Mohanty, MASATO WATANABE, AKITOSHI OKINO, EIKI HOTTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成１８年電気学会基礎・材料・共通部門大会（CD-ROM)
英文:

巻, 号, ページ

pp. 259

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成１８年電気学会基礎・材料・共通部門大会
英文:

開催地

和文:	熊本市
英文: