Stress Distribution in an Aluminum Interconnect of Very Large Scale Integration

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stress Distribution in an Aluminum Interconnect of Very Large Scale Integration

著者

和文:	H. Niwa, H. Yagi, H. Tsuchikawa, 加藤雅治.
英文:	H. Niwa, H. Yagi, H. Tsuchikawa, M. Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 68 No. 1 pp. 328-333

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文:

DOI