Air Turbine-Driven Aerostatic Spindle System for Nano-Processing

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工用超精密スピンドルシステムの開発
英文:	Air Turbine-Driven Aerostatic Spindle System for Nano-Processing

著者

和文:	吉岡勇人, 平林武洋, 新野秀憲.
英文:	H.Yoshioka, T.Hirabayashi, H.Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	社団法人日本工作機械工業会
英文:	Japan Machine Tool Builders' Association

巻, 号, ページ

pp. 52-53

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 12th International Machine Tool Engineers Conference

開催地

和文:
英文:	Tokyo Big Sight