Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:下部電極がエピタキシャルPZT薄膜の残留応力と誘電特性に与える影響 
英文: 
著者
和文: 藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 藤戸啓輔, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第17回日本セラミックス協会関東支部研究発表会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 1C05    pp. 40
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.