MOCVD装置用ポータブル原料ユニットの試作とその応用 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOCVD装置用ポータブル原料ユニットの試作とその応用
英文:

著者

和文:	岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第17回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
英文:

巻, 号, ページ

No. 1C06 pp. 41

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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