Effect of the Stainless Steel Mesh in RF Plasma on Low-temperature Crystallization of Pb(Zr, Ti)O3 Films using SrTiO3 Seed Layer Prepared by Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of the Stainless Steel Mesh in RF Plasma on Low-temperature Crystallization of Pb(Zr, Ti)O3 Films using SrTiO3 Seed Layer Prepared by Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	文志原, 木口賢紀, 吉岡朋彦, 田中順三, 篠崎和夫, 脇谷尚樹.
英文:	JI-WON MOON, TAKANORI KIGUCHI, Tomohiko Yoshioka, Junzo Tanaka, KAZUO SHINOZAKI, naoki wakiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 24th International Japan-Korea Seminar on Ceramics

巻, 号, ページ

出版年月

2007年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 24th International Japan-Korea Seminar on Ceramics

開催地

和文:
英文:	Yamaha Resort ﾒTsumagoiﾓ, Shizuoka, Japan