Advantage of the structure and the electrical properties of epitaxial ultra-thin zirconia gate dielectrics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Advantage of the structure and the electrical properties of epitaxial ultra-thin zirconia gate dielectrics

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 田中順三, 篠崎和夫.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Junzo Tanaka, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science and Engineering B

巻, 号, ページ

Vol. 148 p. 30-34

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI