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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Giant Piezoelectricity of PZT thin films on Back-etched Si Wafer
著者
和文:
鈴木 久男
,
脇谷 尚樹
,
坂元 尚紀
, Toshinari Noda,
篠崎 和夫
.
英文:
Hisao Suzuki
,
Naoki Wakiya
,
Naonori Sakamoto
, Toshinari Noda,
Kazuo Shinozaki
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Extended Abstracts of 13th US-Japan Seninar on Dielectrics and Piezoelectric Ceramics
巻, 号, ページ
p. 249-252
出版年月
2007年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
13th US-Japan Seninar on Dielectrics and Piezoelectric Ceramics
開催地
和文:
英文:
Awaji-island, Japan
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.