Giant Piezoelectricity of PZT thin films on Back-etched Si Wafer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Giant Piezoelectricity of PZT thin films on Back-etched Si Wafer

著者

和文:	鈴木久男, 脇谷尚樹, 坂元尚紀, Toshinari Noda, 篠崎和夫.
英文:	Hisao Suzuki, Naoki Wakiya, Naonori Sakamoto, Toshinari Noda, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of 13th US-Japan Seninar on Dielectrics and Piezoelectric Ceramics

巻, 号, ページ

p. 249-252

出版年月

2007年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	13th US-Japan Seninar on Dielectrics and Piezoelectric Ceramics

開催地

和文:
英文:	Awaji-island, Japan