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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Iodine solid source inductively coupled plasma etching of InP 
著者
和文: 松谷 晃宏, Hideo Ohtsuki, 小山 二三夫.  
英文: Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ vol. 44    no. 19    pp. L576-L577
出版年月 2005年5月 
出版者
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会議名称
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開催地
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