【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Thermal stability improvement of Si1 − yCy layers by SiO2 cap layers
著者
和文:
石原 英恵
,
井上 駒樹
,
山田 明
,
小長井 誠
.
英文:
Hanae Ishihara
,
Komaki Inoue
,
Akira Yamada
,
Makoto Konagai
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Thin Solid Films
巻, 号, ページ
Vol. 517 No. 1-3 pp. 213-215
出版年月
2008年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.08.013
©2007
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