ナノ加工による金型の高精度化

澤野宏

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工による金型の高精度化
英文:

著者

和文:	澤野宏.
英文:	hiroshi sawano.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日刊工業新聞
英文:

巻, 号, ページ

4月7日 14

出版年月

2009年4月

出版者

和文:	日刊工業新聞社
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

アブストラクト

ＣＤやＤＶＤのレンズなどの成形品に対する形状精度の高度化の要求に伴い、これらを成形する金型にはナノメートルオーダーの形状精度が必要とされている。ここでは、形状精度を悪化させる原因となる誤差要因を可能な限り排除することにより、ナノメートルオーダーの加工精度を実現可能な超精密切削加工システムについて述べる。また、超精密切削加工を支える、加工状態をインプロセスで認識するためのセンシング技術およびナノメートルオーダーの形状計測技術について述べる。

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