白色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定. | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	白色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定.
英文:

著者

和文:	小川英光, 下山賢一, 福永正和, 北川克一, 杉山将..
英文:	HIDEMITSU OGAWA, 下山賢一, 福永正和, 北川克一, Masashi Sugiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	計測自動制御学会論文集
英文:

巻, 号, ページ

vol. 43 no. 2 pp. 71-77

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	計測自動制御学会論文集
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI

https://doi.org/10.9746/ve.sicetr1965.43.71

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